¡ã KLA Archer 750 and SpectraShape 11k.(»çÁøÁ¦°ø=KLA) © Çѱ¹°ÇÃà½Å¹® |
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KLA Corporation(NASDAQ : KLAC)Àº ÁýÀûȸ·Î(¡®IC¡¯ ¶Ç´Â ¡®Ä¨¡¯) Á¦Á¶¸¦ À§ÇÑ 'Archer 750' À̹Ì¡ ±â¹Ý ¿À¹ö·¹ÀÌ °èÃø ½Ã½ºÅÛ°ú SpectraShape 11k ±¤ÇÐ ÀÓ°èÄ¡¼ö(Critical Dimension : CD)¸¦ ¼±º¸¿´´Ù.
'Archer 750'Àº ĨÀÇ °¢ ·¹À̾ ±¸¼ºµÊ¿¡ µû¶ó ÆÐÅÏ Çü»óÀÌ ÀÌÀü ÃþÀÇ Çü»ó°ú Á¦´ë·Î Á¤·ÄÀÌ µÇ´ÂÁö °ËÁõÇÑ´Ù.
'SpectraShape 11k'´Â Æ®·£Áö½ºÅÍ¿Í ¸Þ¸ð¸® ¼¿ µîÀÇ 3D ±¸Á¶¸¦ ¸ð´ÏÅ͸µÇØ ½ºÆåÀÌ À¯ÁöµÇµµ·Ï ÇÑ´Ù. ÇØ´ç ½Å±Ô °èÃø ½Ã½ºÅÛÀº ÆÐÅÏ Á¤·Ä ¶Ç´Â Çü»óÀÇ ¼¶¼¼ÇÑ Â÷À̸¦ ÆľÇÇØ IC Á¦Á¶¾÷üµéÀÌ 5G, AI, µ¥ÀÌÅÍ ¼¾ÅÍ ¹× ¿§Áö ÄÄÇ»Æà µîÀÇ ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡¼ »ç¿ëµÇ´Â °í¼º´É ¸Þ¸ð¸® ¹× ·ÎÁ÷ ĨÀ» ½ÃÀå¿¡ Ãâ½ÃÇÔ¿¡ ÀÖ¾î ¿ä±¸µÇ´Â º¹ÀâÇÑ °øÁ¤À» ¾ö°ÝÇÏ°Ô Á¦¾îÇÑ´Ù.
KLAÀÇ °èÃø ºÎ¼ÀÇ Á¸ ¸Åµå½¼(Jon Madsen) Sr.VP/GMÀº ¡°Ã·´Ü Ĩ¿¡ »õ·Î¿î ±¸Á¶¿Í ½Å±Ô ¹°ÁúÀÌ Á¢¸ñµÇ¸é¼ IC ¾÷üµéÀº ¿øÀÚ ´ÜÀ§¿¡¼ ÃøÁ¤ÇØ¾ß ÇÏ´Â °øÁ¤ Çã¿ë ¹üÀ§¿¡ Á÷¸éÇØ ÀÖ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
±×´Â ¶Ç ¡°KLA´Â ÀÌ·¯ÇÑ Ä¨À» °íÇ°Áú Ç¥ÁØÀ¸·Î ºñ¿ë È¿À²ÀûÀ¸·Î »ý»êµÇµµ·Ï ÇÏ´Â µ¥ ÀÖ¾î Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇÑ´Ù. ¿À´Ã ´ç»çÀÇ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¿¡ Ãß°¡µÇ´Â 2°³ÀÇ °èÃø ¼Ö·ç¼ÇÀ» ¹ßÇ¥ÇÏ°Ô µÅ ¿µ±¤ÀÌ´Ù. ÀÌ´Â ´Ù¾çÇÑ ÆÀ¿¡¼ ±Ù¹«ÇÏ´Â ÃÖ°íÀÇ ¿£Áö´Ï¾î ¹× °úÇÐÀÚµéÀÇ ³ë·Â°ú âÀÇÀûÀÎ »ç°íÀÇ °á½ÇÀÌ´Ù.
»õ·Î¿î SpectraShape 11k¿Í Archer 750 ½Ã½ºÅÛÀº Fab °í°´µéÀÌ ÇÊ¿ä·Î ÇÏ´Â °øÁ¤ Á¦¾î ¿ª·®À» Á¦°øÇÏ¸ç °í°´µéÀÌ ¼¼°è¸¦ ¹ßÀü½Ãų ¼ö ÀÖ´Â Çõ½ÅÀûÀÎ ÀüÀÚÁ¦Ç°À» »ý»êÇϵµ·Ï Áö¿øÇÑ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
¡®Archer 750¡¯ ¿À¹ö·¹ÀÌ °èÃø ½Ã½ºÅÛÀº °øÁ¤ º¯µ¿ÀÌ Á¸ÀçÇÏ´Â »óȲ¿¡¼ ¿À¹ö·¹ÀÌ ¿À·ù¸¦ Á¤È®ÇÏ°í °ß°íÇÏ°Ô ÃøÁ¤ÇÔ°ú µ¿½Ã¿¡ ÀÌÀü¿¡´Â »ê¶õ°èÃø(scatterometry-based) ±â¹ÝÀÇ ¿À¹ö·¹ÀÌ ½Ã½ºÅÛ¿¡¼¸¸ °¡´ÉÇß´ø »ý»ê¼º ¼öÁØÀ» ´Þ¼ºÇÑ´Ù.
ÀÌ Çõ½ÅÀûÀÎ ½Ã½ºÅÛÀº ´Ù¾çÇÑ Ãþ¿¡¼ ½Å¼ÓÇÏ°í Á¤È®ÇÑ Çǵå¹éÀ» Á¦°øÇÏ¿© »çÁø ½Ä°¢ ¿£Áö´Ï¾îµéÀÌ Ã·´Ü ·ÎÁ÷, DRAM ¹× 3D NAND ¼ÒÀÚÀÇ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ »ý»ê°ú ºü¸¥ ¼öÀ² °³¼±À» ½ÇÇöÇϵµ·Ï ÀζóÀο¡¼ °øÁ¤ ÀÌÅ»Á¡À» ÆľÇÇÏ°í Àü¹ÝÀûÀÎ ÆÐÅÍ´× ¿Ï¼ºµµ¸¦ Çâ»ó½ÃÅ°´Â ÀÛ¾÷À» Áö¿øÇÑ´Ù.
¡®SpectraShape 11k¡¯ CD ¹× Â÷¿ø Çü»ó °èÃø ½Ã½ºÅÛÀº °¨µµ¿Í »ý»ê¼ºÀ» À¯·Ê¾ø´Â ¼öÁØÀ¸·Î Á¶ÇÕÇؼ ÀÌÀü¿¡´Â Á¢±Ù ºÒ°¡´ÉÇß´ø ¿þÀÌÆÛ Çü»ó, ±¸Á¶ ¹× ¼ÒÀ縦 Áö¿øÇÑ´Ù.
÷´Ü ·ÎÁ÷, DRAM ¹× 3D NAND ¼ÒÀÚ Çü»óÀ» °íÁ¤¹Ðµµ¿Í ³ôÀº ¼Óµµ·Î ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¿ª·®À» º¸À¯ÇÑ SpectraShape 11k´Â°øÁ¤ ¹®Á¦¸¦ ºü¸£°Ô ÆľÇÇÏ°í »ý»ê °¡µ¿ Áß °øÁ¤À» ¾ö°ÝÈ÷ ¸ð´ÏÅ͸µÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù.
¼º´ÉÀ» °³¼±ÇØÁÖ´Â ½Å±Ô °èÃø ½Ã½ºÅÛ ¹× ±â¼ú °³¹ß¿¡ ´ëÇÑ ¼¼ºÎ »çÇ×Àº Æ÷Æ®Æú¸®¿À Á¤º¸ ÆäÀÌÁö¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖ´Ù.
¡®Archer 750¡¯°ú ¡®SpectraShape 11k¡¯ ½Ã½ºÅÛÀº ¼¼°èÀûÀÎ ¼±µµ IC Á¦Á¶¾÷üÀÇ ÀÎÁõÀ» °ÅÃÄ °¡µ¿ ÁßÀ̸ç Çõ½ÅÀûÀÎ ÀüÀÚ ¼ÒÀÚ¸¦ »ý»êÇÏ´Â ´Ù¼öÀÇ °øÁ¤ ´Ü°è¿¡¼ Áß´ëÇÑ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ ¼ö ÀÖ´Â Çǵå¹éÀ» Á¦°øÇÑ´Ù.
¡®Archer 750¡¯°ú ¡®SpectraShape 11k¡¯´Â ½Ç½Ã°£ °øÁ¤ Á¦¾î¿Í ¿£Áö´Ï¾î¸µ ¸ð´ÏÅ͸µ ºÐ¼®À» Áö¿øÇÏ´Â KLAÀÇ 5D Analyzer? ÷´Ü µ¥ÀÌÅÍ ºÐ¼® ½Ã½ºÅÛ°ú °áÇÕÇؼ »ç¿ëµÈ´Ù.
¡®Archer 750°ú ¡¯SpectraShape 11k¡® °èÃø ½Ã½ºÅÛÀº Ĩ Á¦Á¶¾÷üµéÀÌ ¿ä±¸ÇÏ´Â ³ôÀº ¼öÁØÀÇ ¼º´É°ú »ý»ê¼ºÀ» À¯ÁöÇϱâ À§ÇØ KLAÀÇ ±Û·Î¹ú Á¾ÇÕ ¼ºñ½º ³×Æ®¿öÅ©¸¦ È°¿ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí, KLA´Â ÀüÀÚ »ê¾÷¿¡ °ÉÃÄ Çõ½ÅÀ» Ãß±¸ÇÏ´Â »ê¾÷À» ¼±µµÇÏ´Â Àåºñ¿Í ¼ºñ½º¸¦ °³¹ßÇÑ´Ù.
KLA´Â Á¦Á¶ ¿þÀÌÆÛ¿Í ·¹Æ¼Å¬, ÁýÀû ȸ·Î, ÆÐŰ¡, Àμâȸ·Î ±âÆÇ°ú Æò¸é µð½ºÇ÷¹À̸¦ À§ÇÑ Ã·´Ü °øÁ¤ Á¦¾î ¿ª·®°ú °øÁ¤À» ½ÇÇöÇÏ´Â ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÑ´Ù. ¼¼°è °÷°÷¿¡¼ ¼±µµ °í°´»ç¿Í ±ä¹ÐÈ÷ Çù·ÂÇÏ´Â ¹°¸®ÇÐÀÚ, ¿£Áö´Ï¾î, µ¥ÀÌÅÍ °úÇÐÀÚ ¹× ¹®Á¦ÇØ°á»çµé·Î ÀÌ·ïÁø ´ç»çÀÇ Àü¹®°¡ ÆÀÀº ¼¼°è¸¦ ¹ßÀü½ÃÅ°´Â ¼Ö·ç¼ÇÀ» ¼³°èÇÑ´Ù. ¼¼ºÎ Á¤º¸´Â ȨÆäÀÌÁö¿¡ ¸í½ÃµÅ ÀÖ´Ù(KLAC-P).
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